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嘉庚创新实验室
根据《中华人民共和国促进科技成果转化法》《中华人民共和国专利法》及嘉庚创新实验室的相关规定,现对《抗反射涂层 (ARC) 193nm产品线研发》及《旋涂碳层(SOC)与硅基抗反射涂层(SiARC) 产品线研发》项目项下所产出的科技成果以及相关知识产权的转化方案予以公示。
本次公示期为15日。如有异议,请于本公示发布后15日内以书面形式实名向嘉庚创新实验室产业项目办提出。
联系人:李佳楠 姚梅宾
联系邮件:meibinyao@xmu.edu.cn
联系电话:0592-2882565
2023年02月17日
附件: 项目成果转化公示信息表
序号
项目名称
项目
负责人
科技
成果
类型
交易
拟交易 金额(万)
受让、许可、合作方(或拟投资单位)
持股
比例
1
《抗反射涂层 (ARC) 193nm产品线研发》及《旋涂碳层(SOC)与硅基抗反射涂层(SiARC) 产品线研发》
张爱强
发明/实用新型专利、技术秘密等
作价
投资
1435
闽晨星电子材料(厦门)有限公司
70%
编辑:嘉庚创新实验室
内部链接
福建省科学技术厅
厦门市科学技术局
厦门大学